| 75°C 温度下，加热泵最高转速时的氢气流量 | > 16.9 hPa·l/s |
| 75°C 温度下，加热泵最高转速时的氩气流量 | 8.5 hPa·l/s |
| 75°C 温度下，加热泵最高转速时的氮气流量 | 16.9 hPa·l/s |
| I/O 接口 | 通过外部驱动电子设备 |
| 主电源频率兼容性 | 50 Hz 60 Hz |
| 冷却水流量 | 60 l/h |
| 冷却水温度 | 15-25 °C | 59-77 °F | 288-298 K |
| 冷却类型 | 水 |
| 启动时间 | < 8 min |
| 声压水平 | ≤47 dB(A) |
| 安装方向 | 随意 |
| 最大耗电量 | 1000 W |
| 最终压力 | < 6 · 10-9 hPa | < 4.5 · 10-9 Torr | < 6 · 10-9 mbar |
| 最终压力下的功耗 | 350 W |
| 氢气抽气速度 | 1100 l/s |
| 氢气的压缩比 | > 2 · 103 |
| 氦气的压缩比 | > 3 · 104 |
| 氦气的抽气速率 | 1800 l/s |
| 氦的气流量 | > 67.6 hPa·l/s |
| 氩气抽气速率 | 2000 l/s |
| 氩气的压缩比 | > 1 · 108 |
| 氩的气流量 | 25.4 hPa·l/s |
| 氮的气流量 | 67.6 hPa·l/s |
| 氮气的压缩比 | > 1 · 108 |
| 用于氮气的抽气速度 | 2150 l/s |
| 电子驱动单元安装类型 | 外部电子驱动单元 –不包含- |
| 腐蚀性气体型 | 是 |
| 转速 ± 2 % | 31,000 rpm | 31,000 min-1 |
| 轴承 | 磁铁 |
| 输入电压 | 200 – 240 V AC (±10 %), 50/60 Hz |
| 连接法兰（入口） | DN 250 CF-F |
| 连接法兰（出口） | DN 40 ISO-KF |
| 适用于氮气的前级真空最大值 | 2.8 hPa | 2.1 Torr | 2.8 mbar |
| 重量 | 60 kg | 132.28 lb |
| 颗粒吸入 | 是 |
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