• 离子束刻蚀系统

  scia Mill 150

  scia Mill 200

  scia Mill 300

• 离子束抛光刻蚀机

  scia Trim 200

  scia Finish 1500

  scia Trim 300

• 离子束溅射镀膜机

  scia Coat 200

  scia Coat 500

  scia Opto 300

• 磁控溅射镀膜系统

  scia Multi 680

  scia Multi 1500

  scia Magna 200

  scia Multi 300

  scia Multi 500

• 离子源

  scia 微波离子源 MW系列

  scia 射频离子源 RF系列

• 化学气相沉积与反应离子刻蚀系统PECVD/RIE

  scia Cube 300

  scia Cube 750

• 电子束蒸发掠角沉积系统

  scia Eva 200

• 干洗系统

  scia Clean 800

  scia Clean1000 / 1500 / 3000

• 真空分子泵

  ATH 2300 MT，DN 250 CF-F

  ATH 2303 M，DN 250 CF-F

  ATH 2303 M，DN 250 ISO-F（远程）

  ATH 2303 M，DN 250 ISO-F（Profibus）

  HiPace® 80

• 全量程真空度计

  PKR 251，氟化碳橡胶密封，DN 25 ISO-KF

• 检漏仪

  ASM 310 检漏仪

• 涡轮分子泵

  TURBOVAC i 系列

• 低温泵

  COOLVAC i系列

• 前级泵

  DryVac系列干式螺杆泵

  LEYVAC系列 干式螺杆泵

• 压缩机

  COOLPAK i 系列压缩机